پنج روش رایج مشاهده میکروسکوپ
1. روش میدان روشن
روشی برای مشاهده نور منعکس شده مستقیم از یک نمونه. نور نورپرداز از طریق یک شیئی که به صورت عمودی تراز شده به نمونه وارد می شود و نور منعکس شده مستقیم از نمونه از طریق شیئی مشاهده می شود.
2. روش میدان تاریک
روش های خشک کردن نمونه شامل نور پراکنده را مشاهده کنید. نور روشنایی به طور اریب از طریق اطراف عدسی شیئی به نمونه تابیده می شود و نور خشک نمونه در حالی که نور پراش شده مشاهده می شود مشاهده می شود.
ایده آل برای تشخیص خراش ها یا ترک های کوچک روی نمونه ها و بازرسی سطوح آینه مانند نمونه هایی مانند ویفر.
3. روش نور پلاریزه
این یک تکنیک مشاهده میکروسکوپی است که از نور پلاریزه شده استفاده می کند که توسط دو مجموعه فیلتر رنگی (قطبی کننده تشخیص و پلاریزه کننده) تشکیل شده است. این محورهای پلاریزاسیون همیشه عمود بر یکدیگر هستند. برخی از نمونه ها کنتراست شدیدی را بین دو فیلتر نشان می دهند. یا رنگ را بر اساس خواص و جهت انکسار مضاعف بیان کنید (یعنی نمونه های صیقلی ساختارهای روی). هنگامی که آنالایزر در مسیر نور مشاهده ای جلوی چشمی قرار می گیرد، پلاریزه کننده در مسیر نور در مقابل روشن کننده عمودی قرار می گیرد.
برای مشاهده ساختار متالوگرافی (یعنی حالت رشد گرافیت چدن شکل پذیر)، مواد معدنی و کریستال مایع (LCD) و مواد نیمه هادی مناسب است.
4. روش کنتراست تداخل دیفرانسیل
این یک تکنیک مشاهده میکروسکوپی است که با استفاده از روش میدان روشن که ممکن است با روش میدان روشن قابل مشاهده نباشد، ارتفاع کنتراست را به یک تصویر استریوسکوپی یا سه بعدی تغییر می دهد. نور روشنایی از منشور کنتراست تداخل دیفرانسیل به دو چراغ پراش تغییر یافته است. اختلاف ارتفاع نمونه ناشی از دو نور پراش شده، اختلاف کمی در مسیر نور ایجاد می کند و تفاوت مسیر نور به کنتراست بین منشور کنتراست و تحلیلگر با استفاده از تداخل سنجی دیفرانسیل تبدیل می شود.
نمونه های حساس برای افزایش انحرافات رنگی بسیار متغیر مورد استفاده مجدد قرار می گیرند.
این برای آزمایش نمونه هایی با تفاوت ارتفاع بسیار با دقت بالا، از جمله ساختارهای متالوگرافی، مواد معدنی، سرهای مغناطیسی، سطوح هارد دیسک و سطوح تصفیه شده ویفر مناسب است.
5. روش فلورسانس
این تکنیک برای نمونه هایی که فلورسانس می کنند استفاده می شود.
برای تشخیص آلودگی ویفر، رزین حساس به نور باقیمانده و تشخیص ترک با روش فلورسانس مناسب است.
