تفاوت بین میکروسکوپ الکترونی و میکروسکوپ متالوگرافی
اصل میکروسکوپ الکترونی روبشی
میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) که به اختصار SEM نامیده می شود، یک سیستم پیچیده است که فناوری الکترون-اپتیکی، فناوری خلاء، ساختار مکانیکی خوب و فناوری کنترل کامپیوتری مدرن را متراکم می کند. SEM یک اثر ولتاژ بالا تسریع شده تفنگ الکترونی است که توسط الکترون از طریق همگرایی عدسی الکترومغناطیسی چند مرحلهای به پرتو کوچکی از الکترون ساطع میشود. اسکن در سطح نمونه، تحریک انواع اطلاعات، از طریق دریافت این اطلاعات، تقویت و تصویربرداری نمایش، به منظور تجزیه و تحلیل سطح نمونه. برهمکنش الکترون های برخوردی با نمونه، انواع اطلاعات نشان داده شده در شکل 1 را تولید می کند. توزیع شدت دو بعدی این اطلاعات با ویژگی های سطح نمونه متفاوت است (این ویژگی ها مورفولوژی سطح، ترکیب، جهت گیری کریستال، خواص الکترومغناطیسی هستند. و غیره)، انواع آشکارسازها برای جمع آوری اطلاعات به ترتیب، نسبت اطلاعات تبدیل به یک سیگنال ویدئویی، و سپس انتقال به اسکن همزمان از لوله تصویر و مدولاسیون روشنایی آن، شما می توانید پاسخ دریافت کنید. به سطح نقشه اسکن نمونه. اگر سیگنال دریافتی توسط آشکارساز دیجیتالی شده و به سیگنال دیجیتال تبدیل شود، می توان آن را بیشتر توسط کامپیوتر پردازش و ذخیره کرد. میکروسکوپهای الکترونی روبشی عمدتاً برای مشاهده نمونههای بلوک ضخیم با اختلاف ارتفاع زیاد و ناهمواریهای خشن طراحی شدهاند و بنابراین برای برجستهکردن اثر عمق میدان طراحی شدهاند و عموماً برای تجزیه و تحلیل شکستگیها و همچنین سطوح طبیعی استفاده میشوند. به صورت مصنوعی درمان شده است.
میکروسکوپ الکترونی و میکروسکوپ متالورژیکی
اول، منبع نور متفاوت است: میکروسکوپ متالورژیکی با استفاده از نور مرئی به عنوان منبع نور، میکروسکوپ الکترونی روبشی با استفاده از پرتو الکترونی به عنوان تصویربرداری منبع نور.
دوم، اصل متفاوت است: میکروسکوپ متالورژیکی با استفاده از اصل تصویربرداری اپتیک هندسی برای تصویربرداری، میکروسکوپ الکترونی روبشی با استفاده از بمباران پرتو الکترونی پرانرژی سطح نمونه، تحریک انواع سیگنالهای فیزیکی بر روی سطح نمونه، و سپس استفاده آشکارسازهای سیگنال مختلف برای پذیرش سیگنال های فیزیکی تبدیل شده به اطلاعات تصویر.
سوم، وضوح متفاوت است: میکروسکوپ متالورژیکی به دلیل تداخل و پراش نور، وضوح تنها می تواند به 0 محدود شود.2-0.5m بین. میکروسکوپ الکترونی روبشی به دلیل استفاده از پرتو الکترونی به عنوان منبع نور، وضوح می تواند بین 1-3 نانومتر برسد، بنابراین مشاهده بافت میکروسکوپ متالورژیکی متعلق به تجزیه و تحلیل سطح میکرونی است، مشاهده بافت میکروسکوپ الکترونی روبشی به سطح نانومتری تعلق دارد. تحلیل و بررسی.
چهارم، عمق میدان متفاوت است: عمق میدان میکروسکوپ متالورژی عمومی بین 2-3ام، بنابراین صافی سطح نمونه دارای درجه بالایی از الزامات است، بنابراین فرآیند نمونه برداری آن نسبتاً پیچیده است. در حالی که میکروسکوپ الکترونی روبشی دارای عمق میدان زیادی است، میدان دید بزرگ، تصویربرداری حس سه بعدی غنی، می تواند به طور مستقیم انواع ریزساختار سطح ناهموار نمونه ها را مشاهده کند.
