سنسور فاصله لیزری: ابتدا دیود لیزر به سمت هدف هدف قرار می گیرد تا پالس های لیزری ساطع کند. نور لیزر پس از انعکاس توسط هدف، در تمام جهات پراکنده می شود. بخشی از نور پراکنده شده به گیرنده حسگر باز می گردد، جایی که توسط سیستم نوری گرفته شده و بر روی دیود نوری بهمن تصویربرداری می شود. فتودیود بهمنی یک حسگر نوری با عملکرد تقویت داخلی است، بنابراین می تواند سیگنال های نور بسیار ضعیف را تشخیص دهد. فاصله تا هدف را می توان با ثبت و پردازش زمان سپری شده از ارسال پالس نور تا زمان دریافت آن تعیین کرد.
با توجه به فرکانس اندازه گیری، می توان آن را به موارد زیر تقسیم کرد: ZYT-0100-1 10Hz RS232/RS422; ZYT{3}}Hz RS232/RS422؛ ZYT{6}}Hz این نوع یک سنسور کنترل تشخیص محدوده منطقه ای است. مقدار سوئیچ یا سیگنال سطح را خروجی می کند.
فناوری حسگر فاصله لیزری با توجه به محدوده به روش اندازه گیری فاصله مطلق و روش اندازه گیری میکرو جابجایی تقسیم می شود. با توجه به تقسیم بندی روش های محدوده، روش محدوده فاصله مطلق عمدتاً شامل محدوده لیزر پالسی و محدوده لیزر فاز است و روش اندازه گیری میکرو جابجایی عمدتاً شامل محدوده لیزری مثلثی و محدوده لیزر تداخل سنجی است.
اصل سنسور محدوده لیزر پالسی این است: یک لیزر پالسی با مدت زمان بسیار کوتاه توسط یک لیزر پالسی ساطع می شود. پس از عبور از مسافتی که باید اندازه گیری شود، به هدف اندازه گیری شده برخورد می کند و بخشی از انرژی به عقب منعکس می شود. لیزر پالسی بازتابی را اکو می نامند. . پژواک به فاصله یاب باز می گردد و توسط یک ردیاب نوری دریافت می شود. با توجه به فاصله بین سیگنال موج اصلی و سیگنال اکو، یعنی زمانی که پالس لیزر از لیزر به سمت هدف اندازهگیری میشود، میتوان فاصله تا هدف اندازهگیری را محاسبه کرد.
اصل سنسور فاصله لیزر فاز تعدیل شدت نور لیزر ساطع شده و استفاده از تغییر فاز سیگنال مدوله شده در هنگام انتشار لیزر در فضا است. از طول موج موج مدوله شده، فاصله نشان داده شده توسط این تاخیر فاز محاسبه می شود. یعنی روش غیرمستقیم اندازهگیری تاخیر فاز برای جایگزینی اندازهگیری مستقیم زمان مورد نیاز برای دور رفت و برگشت لیزر برای رسیدن به اندازهگیری فاصله استفاده میشود. دقت این روش می تواند به سطح میلی متری برسد.
حسگر فاصله لیزری مثلثی، نور ساطع شده توسط لیزر است که توسط عدسی همگرا متمرکز شده و سپس بر روی سطح جسم مورد اندازهگیری فرود میآید. عدسی دریافت کننده نور پراکنده شده از نقطه نور تابشی را دریافت می کند و آن را روی سطح حساس آشکارساز موقعیت فوتوالکتریک تصویر می کند. . هنگامی که جسم حرکت می کند، فاصله نسبی حرکت جسم با جابجایی نقطه نوری روی سطح تصویر محاسبه می شود. وضوح محدوده لیزر مثلثی بسیار بالا است که می تواند به ترتیب میکرومتر برسد.
سنسور محدوده لیزری تداخل سنجی هدف اندازه گیری شده را حرکت داده و انسجام را اندازه گیری می کند و اندازه گیری افزایش فاصله را با شمارش کامل می کند، بنابراین حساسیت اندازه گیری تداخل سنجی بسیار زیاد است که می تواند به سطح نانومتر برسد.
