1. سنسور سرامیکی پیزوالکتریک
مکانیسم عملکرد اولیه سنسور سرامیکی پیزوالکتریک اثر پیزوالکتریک مثبت است. از آنجایی که هیچ موردی وجود ندارد که امپدانس ورودی حلقه پس از اعمال نیروی خارجی بی نهایت باشد، به جای آن از اثر پیزوالکتریک استفاده می شود. تنها تنش دینامیکی یا شبه استاتیکی را می توان توسط سنسورهای سرامیکی اندازه گیری و حس کرد. در درجه اول برای اندازه گیری پارامترهای فیزیکی مختلف، از جمله تغییرات در شتاب، فشار و ارتعاش استفاده می شود. سنسورهای سرامیکی پیزوالکتریک به طور گسترده ای به عنوان بخش های ضروری بسیاری از سیستم های تشخیص و کنترل استفاده می شود.
2. سنسور خازنی
حسگرهای خازنی از انواع مختلفی از خازن ها به عنوان عناصر حسگر برای تبدیل کمیت های فیزیکی یا مکانیکی اندازه گیری شده به تغییرات خازنی استفاده می کنند که در واقع خازن هایی با پارامترهای متغیر هستند. سنسورهای خازنی به طور گسترده ای در اندازه گیری جابجایی، زاویه، ارتعاش، سرعت، فشار، تجزیه و تحلیل ترکیب، خواص متوسط و غیره استفاده می شوند. رایج ترین آنها خازن های صفحه موازی یا خازن های استوانه ای هستند.
3. سنسور مغناطیسی
سنسور مغناطیسی از اصل القای الکترومغناطیسی برای تبدیل سرعت حرکت ورودی به خروجی پتانسیل القایی در سیم پیچ استفاده می کند. مستقیماً انرژی مکانیکی جسم اندازه گیری شده را به خروجی سیگنال الکتریکی تبدیل می کند و برای کار کردن به منبع تغذیه خارجی نیاز ندارد. این یک سنسور معمولی فعال است. با توجه به توان خروجی زیاد این سنسور، مدار ابزار ثانویه مورد استفاده بسیار ساده شده است.
