عوامل موثر بر وضوح میکروسکوپ الکترونی عبوری چیست؟

عوامل موثر بر وضوح میکروسکوپ الکترونی عبوری چیست؟

الف- قطر نقطه پرتو الکترونی حادثه: حد قدرت تفکیک میکروسکوپ الکترونی روبشی است. به طور کلی، حداقل قطر نقطه پرتو تفنگ الکترونی کاتد داغ را می توان به 6 نانومتر کاهش داد و تفنگ الکترونی گسیل میدان می تواند قطر نقطه پرتو را کوچکتر از 3 نانومتر کند.

ب- اثر انبساط پرتو الکترونی فرودی در نمونه: درجه انتشار به انرژی الکترون های پرتو فرودی و عدد اتمی نمونه بستگی دارد. هر چه انرژی پرتو فرودی بیشتر باشد، عدد اتمی نمونه کوچکتر، حجم پرتو الکترونی بزرگتر است و ناحیه ای که سیگنال تولید می شود با انتشار پرتو الکترونی افزایش می یابد و در نتیجه قدرت تفکیک پذیری کاهش می یابد.

ج. روش تصویربرداری و سیگنال مدولاسیون مورد استفاده: هنگامی که الکترون ثانویه به عنوان سیگنال مدولاسیون استفاده می شود، به دلیل انرژی کم (کمتر از 50 eV) و مسیر آزاد متوسط ​​کوتاه (حدود 10-100 نانومتر)، فقط لایه سطحی است. از 50-100 نانومتر الکترون‌های ثانویه در محدوده عمق فقط می‌توانند از سطح نمونه فرار کنند و تعداد پراکندگی‌ها بسیار محدود است و اساساً به صورت جانبی منبسط نمی‌شوند. بنابراین، وضوح تصویر الکترون ثانویه تقریباً برابر با قطر نقطه پرتو است. هنگامی که الکترون های پس پراکنده به عنوان سیگنال مدولاسیون استفاده می شوند، انرژی الکترون های پس پراکنده نسبتا زیاد است و توانایی نفوذ قوی است، بنابراین می توانند از ناحیه عمیق تری در نمونه (حدود 30 درصد از عمق موثر) فرار کنند. در این محدوده عمق، الکترون‌های فرودی دارای انبساط جانبی نسبتاً گسترده‌ای هستند، بنابراین وضوح تصویر الکترونی پس‌پراکنده کمتر از تصویر الکترون ثانویه است، معمولاً در حدود 500-2000 نانومتر. اگر حالت‌های عملیاتی دیگر مانند جذب الکترون، اشعه ایکس، کاتودوفلورسانس، رسانایی یا پتانسیل ناشی از پرتو به عنوان سیگنال‌های مدولاسیون استفاده شود، زیرا سیگنال‌ها از کل ناحیه پراکندگی پرتو الکترون می‌آیند، وضوح تصاویر اسکن به‌دست‌آمده نسبتاً پایین است. ، معمولاً در l 000 نانومتر یا بالاتر از l0000nm.