تمایز بین میکروسکوپ الکترونی روبشی و میکروسکوپ کانفوکال لیزری
هر دو میکروسکوپ کانفوکال لیزری و میکروسکوپ الکترونی روبشی تصویربرداری پویش نقطه به نقطه هستند و بزرگنمایی با کنترل محدوده حرکت اسکن تنظیم می شود. میکروسکوپ کانفوکال لیزری با اسکن لیزری کار می کند و می تواند تصاویر سه بعدی به دست آورد. میکروسکوپ الکترونی روبشی از سیگنالهای فیزیکی مختلفی که توسط پرتو الکترونی متمرکز برانگیخته میشوند برای اسکن سطح نمونه برای تعدیل تصویربرداری استفاده میکند. فقط می توان تصاویر دو بعدی را به دست آورد، اما تصاویر سه بعدی را نمی توان به دست آورد.
1. وضوح حد متفاوت است (منبع سیگنال تقویت شده متفاوت است)
لیزر کانفوکال: وضوح نهایی 150 نانومتر
میکروسکوپ الکترونی روبشی: 20nm~0.8nm
2. روش های مختلف درایو اسکن
لیزر کانفوکال: آینه چرخان لیزر محدوده اسکن لیزر و سرعت اسکن را کنترل می کند.
میکروسکوپ الکترونی روبشی: سیم پیچ الکترومغناطیسی محدوده اسکن و سرعت اسکن پرتو الکترونی را کنترل می کند.
3. تصویربرداری استریو مختلف
لیزر کانفوکال: نمونه لایه به لایه در جهت محور Z از طریق یک موتور پله ای دقیق نانومتری تصویربرداری می شود و نرم افزار تصاویر هر لایه را در یک تصویر سه بعدی شفاف ترکیب می کند.
میکروسکوپ الکترونی روبشی: یک تصویر تک فریم عمق میدان زیادی دارد و یک تصویر دو بعدی است.
4. دامنه کاربرد متفاوت است
لیزر کانفوکال: چندین بار ~ هزاران بار
میکروسکوپ الکترونی روبشی: چندین بار تا صدها هزار بار
5. محیط کار متفاوت است
لیزر کانفوکال: می تواند نمونه ها را در محیط اتمسفر آزمایش کند
میکروسکوپ الکترونی روبشی: آزمایش نمونه ها در یک محیط خلاء بالا
