تفاوت بین میکروسکوپ الکترونی و میکروسکوپ متالوگرافی
میکروسکوپ الکترونی روبشی که به اختصار SEM نامیده می شود، یک سیستم پیچیده است که فناوری نوری الکترونی، فناوری خلاء، ساختار مکانیکی خوب و فناوری کنترل کامپیوتری مدرن را متراکم می کند. میکروسکوپ الکترونی روبشی، الکترونهای ساطع شده توسط تفنگ الکترونی را از طریق یک عدسی الکترومغناطیسی چند مرحلهای در یک پرتو الکترونی کوچک تحت تأثیر شتاب ولتاژ بالا جمعآوری میکند. اسکن سطح نمونه اطلاعات مختلفی را تحریک می کند و با دریافت، تقویت و نمایش اطلاعات می توان سطح نمونه را تجزیه و تحلیل کرد. برهمکنش بین الکترون های برخوردی و نمونه، انواع اطلاعات نشان داده شده در شکل 1 را تولید می کند. توزیع شدت دوبعدی این اطلاعات با ویژگی های سطح نمونه تغییر می کند (این ویژگی ها شامل مورفولوژی سطح، ترکیب، جهت گیری کریستال، خواص الکترومغناطیسی، و غیره)، که تبدیل متوالی و متناسب اطلاعات جمع آوری شده توسط آشکارسازهای مختلف است. سیگنال ویدئویی به سیگنال ویدئویی تبدیل میشود و سپس به یک لوله تصویر در حال اسکن همزمان فرستاده میشود و روشنایی آن برای بدست آوردن یک تصویر اسکن شده که وضعیت سطح نمونه را منعکس میکند، مدوله میشود. اگر سیگنال دریافتی توسط آشکارساز به صورت دیجیتالی پردازش شده و به سیگنال دیجیتال تبدیل شود، می توان آن را بیشتر توسط کامپیوتر پردازش و ذخیره کرد. میکروسکوپ الکترونی روبشی عمدتاً برای مشاهده نمونه های ضخیم با اختلاف ارتفاع زیاد و ناهمواری های خشن استفاده می شود. بنابراین، اثر عمق میدان در طراحی برجسته می شود. به طور کلی برای تجزیه و تحلیل شکستگی ها و سطوح طبیعی که به طور مصنوعی پردازش نشده اند استفاده می شود.
میکروسکوپ الکترونی و میکروسکوپ متالورژی
1. منابع نوری مختلف: میکروسکوپ های متالوگرافی از نور مرئی به عنوان منبع نور و میکروسکوپ های الکترونی روبشی از پرتوهای الکترونی به عنوان منبع نور برای تصویربرداری استفاده می کنند.
2. اصول مختلف: میکروسکوپ های متالوگرافی از اصل تصویربرداری اپتیک هندسی برای تصویربرداری استفاده می کنند، در حالی که میکروسکوپ های الکترونی روبشی از پرتوهای الکترونی پرانرژی برای بمباران سطح نمونه برای تحریک سیگنال های فیزیکی مختلف بر روی سطح نمونه استفاده می کنند و سپس از آشکارسازهای سیگنال مختلف برای دریافت استفاده می کنند. سیگنال های فیزیکی و تبدیل آنها به تصویر. اطلاعات
3. تفکیک پذیری های مختلف: به دلیل تداخل و پراش نور، وضوح یک میکروسکوپ متالوگرافی را می توان تنها به 0 محدود کرد.2-0.5um. از آنجایی که میکروسکوپ الکترونی روبشی از پرتوهای الکترونی به عنوان منبع نور استفاده می کند، وضوح آن می تواند بین 1-3 نانومتر باشد. بنابراین، مشاهده بافت در زیر میکروسکوپ متالوگرافی متعلق به تجزیه و تحلیل سطح میکرونی است، در حالی که مشاهده بافت در زیر میکروسکوپ الکترونی روبشی متعلق به تجزیه و تحلیل سطح نانو است.
4. عمق میدان متفاوت: به طور کلی، عمق میدان یک میکروسکوپ متالوگرافی بین 2-3ام است، بنابراین نیازهای بسیار بالایی برای صافی سطح نمونه دارد، بنابراین فرآیند آمادهسازی نمونه آن نسبتاً پیچیده است. میکروسکوپ الکترونی روبشی دارای عمق میدان زیاد، میدان دید زیاد و تصویر سه بعدی است و می تواند به طور مستقیم ساختارهای ظریف سطوح ناهموار نمونه های مختلف را مشاهده کند.
