حالت کار میکروسکوپ الکترونی تونل زنی اسکن
اگرچه میکروسکوپهای الکترونی تونلی روبشی پیکربندیهای متفاوتی دارند، اما همگی از سه بخش اصلی زیر تشکیل شدهاند: یک سیستم مکانیکی (آینه) که پروب را در یک حرکت سهبعدی نسبت به سطح نمونه رسانا به حرکت در میآورد، یک سیستم الکترونیکی که کنترل و فاصله بین کاوشگر و نمونه و یک سیستم نمایشگر که داده های اندازه گیری شده را به تصویر تبدیل می کند نظارت می کند. دو حالت کار دارد: حالت جریان ثابت و حالت ارتفاع ثابت.
حالت جریان ثابت
جریان تونل با استفاده از مجموعه ای از مدارهای بازخورد الکترونیکی برای ثابت نگه داشتن آن کنترل می شود. یک سیستم کامپیوتری اسکن نوک سوزن روی سطح نمونه را کنترل می کند، یعنی نوک در دو بعد در امتداد جهت های x و y حرکت می کند. از آنجایی که جریان تونل ثابت کنترل می شود، ارتفاع محلی بین نوک و سطح نمونه نیز ثابت نگه داشته می شود و بنابراین نوک همان حرکت موجی را با ارتفاع سطح نمونه انجام می دهد و اطلاعات ارتفاع منعکس می شود. در نتیجه. این بدان معنی است که میکروسکوپ الکترونی تونلی روبشی اطلاعات سه بعدی را در مورد سطح نمونه به دست می آورد. این حالت عملکرد به دلیل اطلاعات تصویر جامع و کیفیت تصویر میکروسکوپی بالا به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد.
حالت ارتفاع ثابت
در فرآیند اسکن نمونه برای ثابت نگه داشتن ارتفاع مطلق نوک سوزن؛ بنابراین نوک سوزن و سطح نمونه فاصله محلی تغییر می کند، اندازه جریان تونل نیز تغییر می کند. از طریق کامپیوتر برای ثبت تغییرات در جریان تونل زنی، و تبدیل به سیگنال های تصویری نمایش داده می شود، یعنی برای گرفتن تصویر میکروسکوپ الکترونی تونل روبشی. این روش کار فقط برای سطح نمونه نسبتاً مسطح است و ترکیب یک جزء واحد است.
