برهمکنش الکترون ها با ماده پایه ای برای تولید میکروسکوپ الکترونی روبشی است. الکترونهای ثانویه، الکترونهای اوگر، پرتوهای X مشخصه و پرتوهای ایکس پیوسته، الکترونهای پراکنده پسپاش، الکترونهای عبوری، و تابش الکترومغناطیسی در محدوده مرئی، فرابنفش و مادون قرمز، همگی زمانی تولید میشوند که پرتوی از الکترونهای برخوردی با انرژی بالا سطح زمین را بمباران کند. موضوع. ارتعاشات شبکه (فونون ها)، نوسانات الکترون (پلاسما) و جفت الکترون-حفره همگی می توانند همزمان تولید شوند. در تئوری، چندین ویژگی فیزیکی و شیمیایی خود نمونه، از جمله شکل، ترکیب، ساختار بلوری، ساختار الکترونیکی و میدانهای الکتریکی یا مغناطیسی داخلی آن را میتوان با بهرهبرداری از برهمکنش بین الکترونها و ماده تعیین کرد.
به منظور ایجاد یک پرتو الکترونی با انرژی، شدت و قطر لکهای خاص در سطح نمونه، توپ الکترونی یک پرتو الکترونی با انرژی تا 30 کیلو ولت ساطع میکند که سپس توسط عدسی همگرا و عدسی شیئی کاهش یافته و متمرکز میشود. . پرتو الکترونی برخوردی، نقطه به نقطه سطح نمونه را تحت تأثیر میدان مغناطیسی سیم پیچ روبشی در یک زمان و مکان مشخص اسکن خواهد کرد. الکترونهای ثانویه در نتیجه تماس الکترون فرودی با سطح نمونه از الکترون نمونه برانگیخته میشوند. عملکرد جمع کننده الکترون ثانویه به آن اجازه می دهد تا الکترون های ثانویه را که در همه جهات ساطع می شوند، جذب کند.
و سپس توسط الکترود شتاب دهنده به سوسوزن برای تبدیل به سیگنال نوری، قبل از حرکت در لوله نور به سمت لوله فوتو ضربکننده برای تبدیل مجدد سیگنال نوری به سمت سوسوزن هدایت میشود. برای انتقال سیگنال های الکتریکی تقویت کننده ویدیو این سیگنال الکتریکی را تقویت می کند، که سپس به شبکه لوله تصویر عرضه می شود تا روشنایی آن را تنظیم کند و تصویر الکترون ثانویه را که نوسانات سطح نمونه را منعکس می کند روی صفحه فلورسنت نمایش دهد.
فرآیند تصویربرداری مورد استفاده در تصویربرداری TEM، که از تصویربرداری با لنز مغناطیسی استفاده میکند و به یکباره تمام میشود، کاملاً متفاوت است.
سیستم نوری الکترونی، سیستم اسکن، سیستم تشخیص سیگنال، سیستم نمایشگر، منبع تغذیه و سیستم خلاء اکثریت میکروسکوپ الکترونی روبشی را تشکیل میدهند. این گرافیک یک نمایش شماتیک از ساخت آن را نشان می دهد. در آزمایش چسب، میکروسکوپ الکترونی روبشی بیشتر مورد استفاده قرار می گیرد.
