میکروسکوپ کانفوکال چند نانومتر را می تواند ببیند؟

میکروسکوپ کانفوکال چند نانومتر را می تواند ببیند؟

هدف علم مواد مطالعه تأثیر ساختار سطح یک ماده بر خواص سطح آن است. بنابراین، تجزیه و تحلیل توپوگرافی سطح در وضوح بالا برای تعیین پارامترهای مربوط به زبری سطح، خواص بازتابی، خواص تریبولوژیکی و کیفیت سطح مهم است. تکنیک های هم کانونی قادر به اندازه گیری مواد با انواع خواص بازتابی سطح و به دست آوردن داده های اندازه گیری موثر هستند.

میکروسکوپ کانفوکال لیزری، بر اساس اصل فناوری کانفوکال، یک ابزار بازرسی برای اندازه‌گیری‌های میکرو و نانو مقیاس بر روی سطوح دستگاه‌ها و مواد دقیق مختلف است. وضوح اندازه گیری بالا به 0.5 نانومتر می رسد.

برنامه های کاربردی
1.MEMS
اندازه گیری ابعاد اجزای میکرون و زیر میکرون، مشاهده مورفولوژی سطح پس از فرآیندهای مختلف (توسعه، اچینگ، متالیزاسیون، CVD، PVD، CMP، و غیره)، تجزیه و تحلیل نقص.

2. قطعات مکانیکی دقیق، دستگاه های الکترونیکی
اندازه گیری ابعاد اجزای میکرون و زیر میکرون، مشاهده مورفولوژی سطح پس از فرآیندهای مختلف تصفیه سطح، فرآیندهای لحیم کاری، تجزیه و تحلیل نقص، تجزیه و تحلیل ذرات.

3.نیمه هادی/LCD
مشاهده توپوگرافی سطح پس از فرآیندهای مختلف (توسعه، اچینگ، متالیزاسیون، CVD، PVD، CMP، و غیره)، تجزیه و تحلیل عیب، اندازه‌گیری عرض خطوط بدون تماس، عمق گام‌ها و غیره.

4. تریبولوژی، خوردگی و دیگر مهندسی سطح
اندازه گیری حجم علائم سایش، اندازه گیری زبری، توپوگرافی سطح، خوردگی و توپوگرافی سطح پس از مهندسی سطح زیر میکرون.

مشخصات فنی
مدل: VT6100
محدوده ضربه: 100 * 100 * 100 میلی متر
محدوده میدان دید: 120×120 میکرومتر~1.2×1.2 میلی متر

تکرارپذیری اندازه گیری ارتفاع (1σ): 12 نانومتر
دقت اندازه‌گیری ارتفاع: ± ({0}}.2+L/100) میکرومتر
وضوح اندازه گیری ارتفاع: 0.5 نانومتر

تکرار اندازه گیری عرض (1σ): 40 نانومتر
دقت اندازه گیری عرض: ± 2%
وضوح اندازه گیری عرض: 1 نانومتر