ساختار میکروسکوپ الکترونی و اصل تصویربرداری
میکروسکوپ الکترونی از سه بخش تشکیل شده است: بشکه آینه، سیستم خلاء و کابینت برق. بشکه عمدتاً از تفنگ الکترونی، لنز الکترونی، نگهدارنده نمونه، صفحه فلورسنت و مکانیسم عکاسی تشکیل شده است که معمولاً در یک ستون از بالا به پایین مونتاژ می شوند. سیستم خلاء از پمپ خلاء مکانیکی، پمپ انتشار و شیر خلاء و غیره تشکیل شده است و از طریق خط لوله پمپاژ به بشکه متصل می شود. کابینت منبع تغذیه از ژنراتور ولتاژ بالا، تثبیت کننده جریان تحریک و واحدهای کنترل تنظیم مختلف تشکیل شده است.
◆ لنز الکترونی
عدسی الکترونی مهمترین بخش لوله میکروسکوپ الکترونی است که از یک میدان الکتریکی فضایی یا میدان مغناطیسی متقارن با محور لوله استفاده می کند تا مسیر الکترون را به سمت محور تشکیل تمرکز نقش محدب شیشه ای ایجاد کند. عدسی برای ایجاد پرتو نور با تمرکز نقش مشابه، بنابراین به آن عدسی الکترونی می گویند. بیشتر میکروسکوپهای الکترونی مدرن از عدسیهای الکترومغناطیسی استفاده میکنند که در آن الکترونها توسط یک میدان مغناطیسی قوی ایجاد شده توسط یک جریان تحریک DC بسیار پایدار از طریق یک سیم پیچ با یک کفشک قطبی متمرکز میشوند.
◆ تفنگ الکترونی
تفنگ الکترونی جزئی است که از یک کاتد داغ تنگستن، یک دروازه و یک کاتد تشکیل شده است. از خود ساطع می کند و یک پرتو الکترونی با سرعت یکنواخت تشکیل می دهد، بنابراین لازم است که پایداری ولتاژ شتاب دهنده کمتر از یک قسمت در ده هزار نباشد.
[اصل تصویربرداری
■اصل تصویربرداری میکروسکوپ نوری
هنگامی که جسمی که باید در خارج از کانون عدسی شیئی نزدیک به نقطه کانونی مشاهده شود، پس از اینکه عدسی عینی تصویر واقعی درست در داخل فوکوس چشمی نزدیک به نقطه کانونی چشمی شکل گرفت، چشمی دوباره به یک بزرگنمایی تبدیل میشود. تصویر مجازی آنچه مشاهده می شود یک تصویر مجازی معکوس پس از دو بزرگنمایی است.
■ اصل تصویربرداری میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ الکترونی بر اساس اصل اپتیک الکترونی، پرتوهای الکترونی و لنزهای الکترونی به جای پرتوهای نور و لنزهای نوری است، به طوری که ساختار خوب مواد در بزرگنمایی بسیار بالایی از ابزار تصویربرداری است.
قدرت تفکیک میکروسکوپ الکترونی با حداقل فاصله بین دو نقطه همسایه که می تواند تفکیک کند بیان می شود. در دهه 197، قدرت تفکیک میکروسکوپ الکترونی عبوری حدود 0.3 نانومتر بود ( قدرت تفکیک چشم انسان حدود 0.1 میلی متر است). امروزه حداکثر بزرگنمایی یک میکروسکوپ الکترونی بیش از 3 میلیون برابر است، در حالی که حداکثر بزرگنمایی میکروسکوپ نوری حدود 2،{7}} برابر است، به طوری که اتمها و کریستالهای برخی از فلزات سنگین را میتوان مستقیماً مشاهده کرد. یک میکروسکوپ الکترونی با آرایهای منظم از نقاط اتمی.
