کاربردهای میکروسکوپ کانفوکال در صنعت نیمه هادی
در فرآیند تولید نیمه هادی در مقیاس بزرگ، لازم است تراشه های مدار مجتمع روی ویفر گذاشته شوند، سپس آن ها به واحدهای مختلف تقسیم شوند و در نهایت بسته بندی و لحیم شوند. بنابراین، کنترل دقیق و اندازهگیری اندازه شیار برش ویفر یک پیوند مهم در فرآیند تولید است.
میکروسکوپ کانفوکال یک دستگاه تشخیص میکروسکوپی است که توسط Zhongtu Instrument راه اندازی شد و به طور گسترده در فرآیندهای تولید و بسته بندی نیمه هادی ها استفاده می شود. می تواند اسکن غیر تماسی را انجام دهد و مورفولوژی سه بعدی-ویژگی های سطح را با اشکال پیچیده و شیارهای برش لیزری شیب دار بازسازی کند.
میکروسکوپ کانفوکال دارای وضوح اپتیکال عالی است و از طریق یک سیستم تصویربرداری واضح می تواند مشخصات سطح ویفر را با جزئیات مشاهده کند، مانند اینکه آیا ایرادهایی مانند شکستگی لبه و خراش روی سطح ویفر وجود دارد یا خیر. برج الکتریکی می تواند به طور خودکار بین بزرگنمایی های مختلف سوئیچ کند، و نرم افزار به طور خودکار لبه های ویژگی را برای اندازه گیری سریع اندازه دو بعدی می گیرد و در نتیجه سطح ویفر را به طور مؤثرتری شناسایی و کنترل می کند.
در فرآیند برش لیزری ویفر، موقعیت دقیق مورد نیاز است تا اطمینان حاصل شود که شیارها می توانند در امتداد کانتور صحیح روی ویفر بریده شوند. کیفیت تقسیم بندی ویفر معمولاً با عمق و عرض شیارهای برش اندازه گیری می شود. میکروسکوپ کانفوکال سری VT6000، مبتنی بر فناوری کانفوکال و مجهز به ماژولهای اسکن با سرعت بالا-، دارای نرمافزار تحلیل حرفهای با عملکردهای اندازهگیری چند ناحیهای و خودکار است. می تواند به سرعت کانتور سه بعدی شیار لیزری ویفر آزمایش شده را بازسازی کند و تجزیه و تحلیل چند پروفایل را برای به دست آوردن اطلاعات عمق و عرض کانال مقطع- انجام دهد.
