تجزیه و تحلیل با استفاده از میکروسکوپ نوری (OM)
اصول فنی
اصل تصویربرداری میکروسکوپ نوری استفاده از نور مرئی برای روشن کردن سطح یک قطعه آزمایشی است تا باعث ایجاد پراکندگی یا انعکاس موضعی برای ایجاد کنتراست‌های مختلف شود. با این حال، از آنجایی که طول موج نور مرئی به اندازه {{0}} آنگستروم است، وضوح (یا نرخ تشخیص، انرژی تفکیک) سیستم به کوتاه‌ترین فاصله‌ای که دو نقطه قابل تشخیص است اشاره دارد. طبیعتاً بدترین است. در حالت عادی، از آنجایی که میزان تشخیص چشم غیرمسلح فقط 0.2 میلی متر است، زمانی که وضوح بهینه میکروسکوپ نوری تنها 0.2 um باشد، حداکثر بزرگنمایی نظری تنها 1000 است. این بزرگترین سیستم تصویربرداری است. که نشان می دهد که مشاهدات با میکروسکوپ های نوری در واقع هنوز می توانند اطلاعات اولیه ساختاری زیادی را ارائه دهند.
ماشین تایپ
برنامه های کاربردی تحلیلی
اگرچه بزرگنمایی و تفکیک میکروسکوپ های نوری نمی تواند نیازهای مشاهده سطحی بسیاری از مواد را برآورده کند، اما همچنان در کاربردهای زیر به طور گسترده استفاده می شود، مانند:
مشاهده ساختار مقطعی جزء
تحلیل و مشاهده ساختار تاخیری مسطح.
رصد منطقه آزاد رسوب;
مشاهده تراز ضعیف و فرورفتگی بیش از حد (Overetch);
تحقیق در مورد خطاهای انباشته افزایش یافته اکسیداسیون (OSF) و غیره
حداکثر بزرگنمایی یک میکروسکوپ نوری چقدر است؟
بزرگنمایی میکروسکوپ نوری عمدتاً به عدسی شیئی برای بزرگنمایی واقعی جسم و چشمی برای بزرگنمایی ثانویه تصویر بزرگ شده توسط عدسی شیئی متکی است. عدسی شیئی یک میکروسکوپ نوری فقط می تواند تا 100 بار و چشمی فقط تا 10 بار برود.
16 بار
حداکثر چشمی 20 برابر است. بنابراین، وقتی عدسی شیئی 100 برابر و چشمی 20 برابر باشد، کل بزرگنمایی می تواند به 2000 برابر برسد. اما 2000 برابر فقط یک عدد 2000 برابر است، نه بزرگنمایی واقعی 2000 برابر. به عنوان مثال، وقتی چشمی 10 برابر است، عدسی شیئی 100 برابر و بزرگنمایی کل 1000 برابر است، زیرا عدسی شیئی با بزرگنمایی واقعی هنوز 100 برابر است، اما چشمی از 10 برابر به 20 برابر تغییر می کند. 2000 بار به نظر می رسد
1000 بار، اختلاف دو برابر، اما در واقع فقط 10 برابر اختلاف است.
