مزایای میکروسکوپ الکترونی روبشی

مزایای میکروسکوپ الکترونی روبشی

1. بزرگنمایی
از آنجایی که اندازه صفحه فلورسنت میکروسکوپ الکترونی روبشی ثابت است، تغییر بزرگنمایی با تغییر دامنه روبشی پرتو الکترونی روی سطح نمونه محقق می شود.
اگر جریان سیم پیچ روبشی کاهش یابد، دامنه اسکن پرتو الکترونی روی نمونه کاهش یافته و بزرگنمایی افزایش می یابد. تنظیم بسیار راحت است، و می توان آن را به طور مداوم از 20 بار تا حدود 200،000 بار تنظیم کرد.

2. قطعنامه
رزولوشن شاخص اصلی عملکرد SEM است.
وضوح با قطر پرتو الکترون فرودی و نوع سیگنال مدولاسیون تعیین می شود:
هرچه قطر پرتو الکترونی کوچکتر باشد، وضوح بالاتر است.
سیگنال های فیزیکی مختلف که برای تصویربرداری استفاده می شوند وضوح متفاوتی دارند.
به عنوان مثال، الکترون‌های SE و BE دارای دامنه‌های گسیلی متفاوتی در سطح نمونه هستند و قدرت تفکیک آنها متفاوت است. به طور کلی، وضوح SE حدود 5-10 نانومتر و وضوح BE حدود 50-200 نانومتر است.

3. عمق میدان
به مجموعه ای از قابلیت ها اشاره دارد که یک لنز می تواند به طور همزمان روی قسمت های مختلف یک نمونه با ناهمواری فوکوس و تصویر کند.
عدسی نهایی میکروسکوپ الکترونی روبشی دارای زاویه دیافراگم کوچک و فاصله کانونی زیاد است، بنابراین می توان عمق میدان زیادی را بدست آورد که 100-500 برابر بزرگتر از میکروسکوپ نوری عمومی و 10 برابر بزرگتر از میکروسکوپ الکترونی عبوری
عمق میدان زیاد، حس سه بعدی قوی و شکل واقعی از ویژگی های برجسته SEM است.
نمونه های SEM به دو دسته تقسیم می شوند:

1 نمونه ای با رسانایی خوب است که به طور کلی می تواند شکل اصلی خود را حفظ کند و در یک میکروسکوپ الکترونی بدون یا با کمی تمیز کردن قابل مشاهده است.

2. نمونه‌های نارسانا یا نمونه‌هایی که آب از دست می‌دهند، گاز خارج می‌شوند، منقبض می‌شوند و در خلاء تغییر شکل می‌دهند، قبل از مشاهده باید به درستی درمان شوند.